新聞 – 卓聚科技

納米位移臺使用中出現(xiàn)“回跳”現(xiàn)象怎么處理？

suopu — Fri, 13 Jun 2025 01:19:37 +0000

納米位移臺在使用過程中出現(xiàn)“回跳”現(xiàn)象，通常表現(xiàn)為臺體在移動到目標(biāo)位置后又輕微反向跳動或震蕩，影響定位精度與重復(fù)性。這類問題可從以下幾個方面排查與處理：
一、原因分析及應(yīng)對方法
1. 閉環(huán)控制參數(shù)不當(dāng)（伺服控制回路調(diào)整不佳）
原因：PID 參數(shù)設(shè)置不合理，導(dǎo)致控制器對反饋誤差過度修正，引起過沖或震蕩。
處理：進(jìn)入控制軟件界面，適當(dāng)降低比例增益（P）或微分增益（D），使系統(tǒng)響應(yīng)更柔和，抑制震蕩。
2. 機(jī)械系統(tǒng)存在間隙或彈性變形
原因：機(jī)械結(jié)構(gòu)存在反向間隙（backlash）、材料彈性滯后，導(dǎo)致位移臺在停止前后發(fā)生微小機(jī)械回彈。
處理：
檢查絲桿、滑臺是否有松動；
使用預(yù)緊結(jié)構(gòu)或加裝消隙裝置（如彈簧負(fù)載）；
在控制程序中啟用消隙補(bǔ)償功能，通過反向慢速進(jìn)給消除間隙影響。
3. 驅(qū)動器或電機(jī)分辨率不足
原因：驅(qū)動電流過高、微步設(shè)置過低或編碼器分辨率不夠，導(dǎo)致微小位移響應(yīng)不穩(wěn)定。
處理：
檢查并提高驅(qū)動器細(xì)分設(shè)置（如由 16 微步改為 32 或更高）；
選用分辨率更高的編碼器；
降低電機(jī)電流以減少震蕩。
4. 負(fù)載變化或臺體剛性不足
原因：負(fù)載重心偏移或質(zhì)量過大，導(dǎo)致系統(tǒng)慣性大，停止時不易快速穩(wěn)定。
處理：
盡量保持負(fù)載對稱，貼近臺體中心；
若結(jié)構(gòu)剛性不足，建議更換更高剛性的位移臺型號。
5. 程序控制邏輯問題
原因：控制程序執(zhí)行邏輯在運(yùn)動結(jié)束前反復(fù)發(fā)出位置指令，導(dǎo)致反復(fù)調(diào)整。
處理：
優(yōu)化程序中位移完成判斷邏輯；
增加“位置到達(dá)”確認(rèn)延時，等待系統(tǒng)穩(wěn)定后再執(zhí)行下一步操作。

如何優(yōu)化納米位移臺的加速和減速時間以減少震動？

suopu — Fri, 13 Jun 2025 01:18:36 +0000

在納米位移臺運(yùn)行過程中，優(yōu)化加速和減速時間是減少震動、提高穩(wěn)定性和定位精度的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。以下是具體的優(yōu)化方法與思路：
一、震動的來源與加減速的關(guān)系
快速加速或減速會引發(fā)：
機(jī)械慣性響應(yīng)滯后，引起抖動；
結(jié)構(gòu)共振，導(dǎo)致臺體輕微彈跳；
控制系統(tǒng)過沖或震蕩，產(chǎn)生“回跳”或“震顫”。
因此，合理調(diào)整加減速時間能平滑速度變化，降低機(jī)械沖擊，從而減少震動。
二、優(yōu)化策略與操作方法
1. 延長加速度（Acceleration）和減速度（Deceleration）時間
原理：用更長時間達(dá)到目標(biāo)速度或停止，使系統(tǒng)平穩(wěn)過渡；
做法：在控制軟件中，適當(dāng)降低加速度和減速度的數(shù)值，如從原來的 50 mm/s2 調(diào)低到 20–30 mm/s2；
適用場景：載荷較重、結(jié)構(gòu)柔軟、路徑變化大的場景。
2. 采用“S形加速曲線”替代線性加速
原理：S形曲線能使加速度本身也漸變，從而避免沖擊；
優(yōu)勢：更柔和、更符合實際物理響應(yīng)；
做法：在支持 S 曲線的控制器中啟用 S 加減速選項（一般軟件中可設(shè)置加速模式）；
適用控制器：如 PI、Aerotech、Physik Instrumente 等控制系統(tǒng)。
3. 考慮系統(tǒng)負(fù)載特性匹配
對于輕負(fù)載系統(tǒng)，可適當(dāng)加快加減速以提升效率；
對于重負(fù)載或柔性結(jié)構(gòu)，應(yīng)放慢加減速時間以防止慣性過大。
4. 調(diào)整 PID 參數(shù)配合加減速變化
若已降低加減速仍出現(xiàn)震動，可同步優(yōu)化 PID 參數(shù)（如降低 P 增益）；
目的是讓閉環(huán)控制響應(yīng)更加柔和，避免震蕩。
5. 分段路徑規(guī)劃，避免急變
不建議在路徑中設(shè)置突然的速度變化；
使用平滑過渡的多段運(yùn)動軌跡，避免“斷點(diǎn)式”停止。

納米位移臺運(yùn)動抖動怎么辦？

suopu — Thu, 12 Jun 2025 02:17:58 +0000

納米位移臺運(yùn)動時出現(xiàn)抖動，可能影響定位精度和實驗結(jié)果。你可以從以下幾個方面排查和解決：
檢查機(jī)械連接和緊固
確保所有機(jī)械連接件、螺絲和導(dǎo)軌牢固，無松動或異物堵塞，松動會引起振動和抖動。
潤滑導(dǎo)軌和滑動面
機(jī)械部件缺乏潤滑會增加摩擦和不平滑運(yùn)動，定期使用廠家推薦的潤滑劑潤滑導(dǎo)軌和滑動部件。
調(diào)整驅(qū)動參數(shù)
運(yùn)動控制軟件中的速度、加速度和減速度參數(shù)設(shè)置過高或不合理，容易導(dǎo)致抖動。適當(dāng)降低速度和加速度參數(shù)，平滑運(yùn)動曲線。
檢查控制器和驅(qū)動信號
控制器信號異常、干擾或接線不良會引起步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)抖動，檢查線纜連接，確保無松動和干擾。
避免機(jī)械共振
位移臺安裝環(huán)境要穩(wěn)固，避免震動源（如機(jī)械設(shè)備、空調(diào)、腳步聲等）傳遞給納米位移臺。
使用防振臺或減振裝置
如果環(huán)境震動明顯，可以加裝減振平臺、減振墊或隔振裝置，降低外界振動影響。
檢查電源和接地
電源不穩(wěn)定或接地不良可能影響驅(qū)動電機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行，確保電源干凈穩(wěn)定，設(shè)備接地良好。
固件和軟件升級
及時更新控制器固件和運(yùn)動控制軟件，避免因軟件缺陷導(dǎo)致抖動。

納米位移臺出現(xiàn)錯誤提示該如何處理？

suopu — Thu, 12 Jun 2025 02:17:00 +0000

納米位移臺出現(xiàn)錯誤提示時，通常表明系統(tǒng)運(yùn)行出現(xiàn)了異常。你可以按以下步驟排查和處理：
查看錯誤提示內(nèi)容
認(rèn)真閱讀錯誤提示信息，通常會給出錯誤代碼或簡要描述，有助于定位問題。
檢查連接狀態(tài)
確認(rèn)納米位移臺與控制電腦的連接是否正常，接口線（如USB、串口、電源線）是否牢固無損。
斷電重啟設(shè)備
關(guān)閉納米位移臺電源，等待幾秒后重新上電，重啟控制軟件，看錯誤是否消失。
檢查控制軟件設(shè)置
確認(rèn)軟件中設(shè)置的參數(shù)（如行程范圍、速度、加速度、回零設(shè)置等）是否合理，是否超過設(shè)備限制。
檢查限位和原點(diǎn)狀態(tài)
設(shè)備可能觸發(fā)了限位開關(guān)或原點(diǎn)傳感器，導(dǎo)致錯誤，確保限位沒有被機(jī)械阻擋或誤觸發(fā)。
清理機(jī)械卡阻
檢查位移臺導(dǎo)軌是否有異物或潤滑不足，清理雜質(zhì)并加適當(dāng)潤滑，避免機(jī)械卡頓。

如果位移臺運(yùn)行偏慢或卡頓應(yīng)如何處理？

suopu — Wed, 11 Jun 2025 03:02:02 +0000

納米位移臺運(yùn)行偏慢或出現(xiàn)卡頓現(xiàn)象，通常是由于機(jī)械、電氣或控制系統(tǒng)某一環(huán)節(jié)出了問題。以下是詳細(xì)的排查思路與處理建議：
常見原因與對應(yīng)處理
1. 導(dǎo)軌或滑塊存在污染或磨損
表現(xiàn)：運(yùn)行不順暢，感覺有“卡點(diǎn)”。
原因：灰塵、顆粒物、潤滑不足或?qū)к壚匣?br /> 處理：
清潔導(dǎo)軌、滑塊；
潤滑移動部件；
若劃傷嚴(yán)重，聯(lián)系廠家更換磨損部件。
2. 壓電驅(qū)動器或馬達(dá)驅(qū)動問題
表現(xiàn)：移動遲鈍、響應(yīng)不及時。
原因：驅(qū)動電壓不足、波形不對或控制器輸出異常。
處理：
檢查驅(qū)動電壓是否達(dá)到規(guī)范值；
確認(rèn)控制器參數(shù)設(shè)置是否正確（增益、步長、電流限制）；
重啟控制器或更新固件/驅(qū)動程序。
3. 負(fù)載過重或負(fù)載偏心
表現(xiàn)：某些方向運(yùn)行困難，或起步遲鈍。
原因：超出位移臺設(shè)計負(fù)載，或負(fù)載分布不均。
處理：
減輕負(fù)載；
確保負(fù)載重心在平臺中心位置；
若負(fù)載不變，考慮更高推力型號。
4. 參數(shù)設(shè)置不合理（速度/加速度）
表現(xiàn)：響應(yīng)變慢，卡頓多在啟動或停止時發(fā)生。
處理：
檢查運(yùn)動控制參數(shù)；
降低加速度，適當(dāng)增加緩沖時間；
優(yōu)化軌跡規(guī)劃，避免突然切換方向。
5. 閉環(huán)控制異常（如編碼器信號失真）
表現(xiàn)：位移誤差大，系統(tǒng)嘗試修正但動作遲緩。
處理：
檢查反饋信號線纜是否有松動或干擾；
使用診斷工具查看編碼器反饋是否穩(wěn)定；
若有冗余系統(tǒng)，可對比主/副反饋信號。
6. 溫度或環(huán)境因素
表現(xiàn)：溫度升高后卡頓加劇，或在濕度大時更嚴(yán)重。
原因：熱膨脹導(dǎo)致運(yùn)動部件間隙變?。焕淠斐蓾櫥?。
處理：
提供恒溫干燥運(yùn)行環(huán)境；
如必要，加入防潮加熱裝置或抽濕裝置。

納米位移臺移動時出現(xiàn)異響怎么辦？

suopu — Wed, 04 Jun 2025 02:39:55 +0000

當(dāng)納米位移臺移動時出現(xiàn)異響，可能由機(jī)械摩擦、部件松動或驅(qū)動系統(tǒng)異常引起。以下是系統(tǒng)性排查與解決方案：
1. 快速定位異響來源
聽音辨位：
高頻尖銳聲：可能來自導(dǎo)軌/軸承缺油或污染。
低頻沉悶聲：驅(qū)動電機(jī)過載或傳動部件（如絲杠）磨損。
規(guī)律性咔嗒聲：電纜纏繞或限位開關(guān)誤觸發(fā)。
觸覺輔助：輕觸位移臺外殼，感受振動位置（注意安全，避免干擾測量）。
2. 常見原因與處理措施
(1) 機(jī)械摩擦/潤滑不足
現(xiàn)象：移動不暢伴隨摩擦聲。
解決：
清潔導(dǎo)軌/軸承：用無塵紙蘸取高純酒精（≥99.7%）擦拭，去除粉塵或污染物。
補(bǔ)充潤滑：使用專用納米級潤滑脂（如Molykote EM-30L），薄層涂抹導(dǎo)軌或絲杠。
禁用普通油脂：避免粘度高或含顆粒的潤滑劑。
(2) 傳動部件故障
絲杠/螺桿磨損：
檢查絲杠螺紋是否缺損（放大鏡或顯微鏡觀察）。
更換磨損部件（需廠家校準(zhǔn)）。
聯(lián)軸器松動：
緊固電機(jī)與傳動軸的聯(lián)軸器螺絲（扭矩按手冊要求，通常0.2~0.5Nm）。
(3) 驅(qū)動系統(tǒng)異常
電機(jī)過載：
降低移動速度或加速度（如從1mm/s降至0.2mm/s）。
檢查驅(qū)動電流是否超限（參考設(shè)備參數(shù)手冊）。
驅(qū)動器故障：
重啟驅(qū)動器或更換備用通道測試。
(4) 結(jié)構(gòu)松動或異物干擾
緊固螺絲松動：
用扭矩扳手按順序緊固底座和運(yùn)動部件螺絲（避免單側(cè)過緊）。
電纜摩擦：
重新整理電纜，使用柔性拖鏈保護(hù)。
樣品碰撞：
檢查樣品或夾具是否超出位移臺行程，觸碰周邊部件。
3. 分步診斷流程
斷電手動測試：
關(guān)閉電源，手動推動位移臺（若阻力大或有卡頓，確認(rèn)機(jī)械故障）。
分段運(yùn)行：
在軟件中分段移動（如先X軸后Y軸），定位異響軸。
負(fù)載測試：
空載與帶載對比，若帶載異響明顯，檢查樣品安裝或超重問題。

納米位移臺如何避免樣品安裝時的應(yīng)力影響？

suopu — Wed, 04 Jun 2025 02:38:20 +0000

在納米位移臺操作中，樣品安裝時的應(yīng)力會顯著影響測量精度和樣品完整性。以下是避免應(yīng)力影響的關(guān)鍵方法，以清晰條目式呈現(xiàn)：
一、樣品預(yù)處理
表面平整化
對剛性樣品（如硅片）進(jìn)行機(jī)械或化學(xué)拋光，確保安裝面粗糙度＜1μm。
柔性樣品（如薄膜）可貼合在預(yù)拉伸的彈性基底上，釋放后自然展平。
尺寸適配
樣品尺寸需略小于載物臺，邊緣預(yù)留0.5~1mm間隙，避免擠壓變形。
二、安裝方式優(yōu)化
粘接劑選擇
導(dǎo)電銀膠：適合金屬樣品，薄層涂抹（＜10μm）后室溫固化，避免熱應(yīng)力。
紫外膠：快速固定透明樣品，局部點(diǎn)膠后紫外照射≤30秒。
石蠟：臨時固定熱敏感樣品，加熱溫度控制在略高于熔點(diǎn)（如60℃）。
機(jī)械夾具設(shè)計
使用彈簧預(yù)緊夾具，扭矩控制在0.05~0.1Nm。
采用三點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu)，避免過約束；接觸頭用PTFE或橡膠緩沖。
三、安裝操作關(guān)鍵點(diǎn)
溫度管理
樣品與載物臺材料熱膨脹系數(shù)（CTE）需匹配，例如硅樣品搭配碳化鎢臺。
高溫實驗時，升溫速率≤5℃/min，避免熱沖擊。
力控安裝
使用微力傳感器（如1μN(yùn)分辨率）監(jiān)控壓力，全程施加力＜1mN。
分階段加壓：先輕觸確認(rèn)接觸，再逐步增至目標(biāo)壓力。
精準(zhǔn)對位
激光干涉儀輔助調(diào)平，確保樣品傾斜角＜0.01°。
應(yīng)變片實時反饋：貼于樣品非觀測面，監(jiān)測安裝應(yīng)變。
四、安裝后驗證
靜置松弛
安裝完成后靜置30~60分鐘，釋放膠粘劑或夾具的殘余應(yīng)力。
動態(tài)測試
進(jìn)行±10nm、1Hz的低幅掃描，檢查位移響應(yīng)線性度。
顯微檢查
光學(xué)顯微鏡/AFM觀察樣品邊緣，確認(rèn)無翹曲或裂紋。
五、特殊場景處理
生物樣品：嵌入1%~2%瓊脂糖凝膠，或采用負(fù)壓吸附（壓力≤1kPa）。
超高真空環(huán)境：用無揮發(fā)靜電夾持，或原位150℃低溫退火釋放應(yīng)力。
六、常見錯誤規(guī)避
錯誤：直接按壓樣品對準(zhǔn) → 改正：用微調(diào)臺漸進(jìn)逼近。
錯誤：膠水過量 → 改正：微量點(diǎn)膠配合局部固化。
錯誤：忽略振動 → 改正：鎖定位移臺并在隔震平臺上操作。

使用中如何判斷納米位移臺是否出現(xiàn)誤差？

suopu — Thu, 29 May 2025 02:16:16 +0000

判斷納米位移臺是否出現(xiàn)誤差，需要從系統(tǒng)反饋、運(yùn)動表現(xiàn)和測量結(jié)果等多個維度綜合分析。以下是常用的判斷方法和依據(jù)：
一、從控制系統(tǒng)或反饋信號判斷
閉環(huán)控制反饋值與設(shè)定值不一致
如果位移臺為閉環(huán)控制（如帶有光柵尺或電容傳感器），應(yīng)實時檢查反饋值是否與設(shè)定值一致。
偏差大、反復(fù)出現(xiàn)或難以收斂，可能存在誤差或控制問題。
誤差信號或報警信息
控制器軟件可能會彈出“超限”、“無法到位”、“失穩(wěn)”等信息，是系統(tǒng)異常的重要信號。
振蕩或不穩(wěn)定反饋波形
若反饋信號曲線出現(xiàn)不規(guī)則抖動或震蕩，也說明運(yùn)動過程中存在誤差或干擾。
二、從運(yùn)動表現(xiàn)判斷
重復(fù)定位誤差明顯
多次讓位移臺返回同一目標(biāo)位置（如“往返5次”），若位置結(jié)果波動大于設(shè)備規(guī)格，說明重復(fù)定位誤差偏大。
回程誤差較大
正反方向到達(dá)同一目標(biāo)點(diǎn)時，若位置反饋或?qū)嶋H測量值不同，可能存在回程間隙或驅(qū)動失配。
響應(yīng)遲緩或延遲明顯
位移響應(yīng)慢、不跟手、滯后大，可能是電機(jī)負(fù)載變化、潤滑失效或控制參數(shù)設(shè)置不合理。
三、從外部測量判斷
用激光干涉儀、光學(xué)顯微鏡、AFM 或白光干涉儀測量
實測軌跡、位移量與設(shè)定值進(jìn)行對比，尤其適用于高精度需求下的誤差檢測。
位移不線性
理論上應(yīng)勻速運(yùn)動的過程，若測量出明顯的加減速或平臺“跳動”，提示執(zhí)行系統(tǒng)或編碼器存在問題。
目標(biāo)樣品未能對準(zhǔn)或誤差累積明顯
在顯微觀察下，樣品無法精準(zhǔn)對準(zhǔn)目標(biāo)區(qū)域、圖像漂移嚴(yán)重，通常也是位移臺定位不準(zhǔn)的表現(xiàn)。

納米位移臺的“零位”如何設(shè)置？

suopu — Thu, 29 May 2025 02:14:06 +0000

納米位移臺的“零位”設(shè)置，是指確定平臺的參考原點(diǎn)，為后續(xù)精確定位和重復(fù)運(yùn)動提供統(tǒng)一的起點(diǎn)。不同控制系統(tǒng)和傳感器配置會略有差異，但基本原則大致如下：
一、常見“零位”設(shè)置方法
1. 機(jī)械限位初始化法（適用于帶限位開關(guān)的系統(tǒng)）
平臺啟動后先運(yùn)動至某一端的機(jī)械限位（通常是最小端），以此點(diǎn)為參考原點(diǎn)。
控制器將該點(diǎn)設(shè)定為0 μm，之后所有位置都相對于這個點(diǎn)進(jìn)行計算。
常見于步進(jìn)電機(jī) + 編碼器系統(tǒng)。
2. 內(nèi)建零位傳感器法（帶原點(diǎn)傳感器的系統(tǒng)）
平臺中集成了原點(diǎn)（home）檢測開關(guān)，如霍爾元件或光電開關(guān)。
開機(jī)或手動“歸零”操作時，平臺會自動找到原點(diǎn)位置并設(shè)定為零。
3. 用戶自定義零位法（軟件命令設(shè)定）
在某一特定位置停下，用戶通過軟件手動設(shè)置當(dāng)前位置為“零位”。
如 Igor Pro 控制器接口或第三方控制軟件中，輸入：SetPosition(0)。
適合已知當(dāng)前物理位置是需要的“參考點(diǎn)”。
4. 絕對編碼器系統(tǒng)
若系統(tǒng)使用絕對式編碼器，則平臺開機(jī)即知道其當(dāng)前位置。
可以直接定義任意一點(diǎn)為零位，也可以保留前一次的零位設(shè)定。
二、設(shè)置零位時的注意事項
確認(rèn)運(yùn)動范圍：避免在接近行程極限的區(qū)域設(shè)置零點(diǎn)，防止運(yùn)行中超限。
檢查傳感器反饋：設(shè)零位前，確保傳感器反饋穩(wěn)定，避免因抖動誤判位置。
零點(diǎn)重復(fù)性測試：多次歸零，驗證是否總回到同一物理位置（可用光學(xué)手段輔助觀察）。
環(huán)境穩(wěn)定：設(shè)零位前，應(yīng)避免強(qiáng)振動、電磁干擾或溫度波動。
三、常用指令（按控制器廠商略有不同）
以 Physik Instrumente（PI）系統(tǒng)為例：
FRF：Find Reference – 查找參考點(diǎn)
POS?：查詢當(dāng)前位置
SVO：激活閉環(huán)控制
ZPO：設(shè)置當(dāng)前位置為零位（Zero Position Offset）
以 Mad City Labs 控制器為例：
使用 set_origin() 或軟件界面中的 “Set Origin” 功能來定義零點(diǎn)。

納米位移臺如何優(yōu)化掃描路徑以減少振動？

suopu — Wed, 28 May 2025 03:03:13 +0000

在使用納米位移臺進(jìn)行掃描時，優(yōu)化掃描路徑是減少系統(tǒng)振動、提升定位精度和圖像質(zhì)量的關(guān)鍵步驟。以下是幾種常用且有效的優(yōu)化路徑設(shè)計方法：
首先，避免使用帶有急劇加速度變化的波形，例如傳統(tǒng)鋸齒波或方波路徑，這類軌跡在方向切換處會造成系統(tǒng)沖擊，引起激發(fā)共振和機(jī)械抖動。建議改為采用平滑的軌跡設(shè)計，例如正弦波、S形曲線（也稱加加速度有限曲線）或多項式平滑路徑，這類曲線能確保加速度變化連續(xù)，減小慣性負(fù)載引起的振動。
其次，控制路徑切換段的速度和加速度。掃描路徑中如存在往返切換點(diǎn)，應(yīng)減緩換向點(diǎn)的速度并引入過渡段。例如在掃描一行結(jié)束準(zhǔn)備回掃時，可以設(shè)置一個緩慢減速、短暫停留再緩慢起動的過程。這種“軟切換”比突變更能降低沖擊帶來的振動。
再者，路徑應(yīng)盡量保持連續(xù)性和方向一致性，尤其在二維掃描中，避免每行掃描結(jié)束后做快速大角度跳躍（如之字形掃描方式中的突變）?？梢圆捎寐菪龗呙?、弓形掃描等連貫曲線形式，從而減小運(yùn)動部件瞬時方向變化引起的非線性響應(yīng)。
此外，路徑長度和密度也需平衡。如果掃描路徑過密或過長，會導(dǎo)致系統(tǒng)長期處于動態(tài)狀態(tài)，溫升和累積誤差更容易引起低頻振動。適當(dāng)控制掃描范圍和分辨率，在不損失所需數(shù)據(jù)質(zhì)量的前提下減輕系統(tǒng)負(fù)荷，是減少振動的另一思路。
在路徑生成之后，可以使用運(yùn)動控制軟件進(jìn)行前饋補(bǔ)償或軌跡預(yù)處理。很多高性能控制器支持對路徑做加速度限制、濾波處理，或基于模型的運(yùn)動前饋補(bǔ)償，有助于抑制高頻振動成分。
總之，優(yōu)化掃描路徑以減少振動的核心是控制加速度變化、保持路徑連續(xù)平滑、限制運(yùn)動劇烈度，并結(jié)合控制器功能實施前饋與濾波處理。這種綜合策略將有效提升納米位移臺在動態(tài)掃描過程中的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

新聞 – 卓聚科技

納米位移臺使用中出現(xiàn)“回跳”現(xiàn)象怎么處理？

如何優(yōu)化納米位移臺的加速和減速時間以減少震動？

納米位移臺運(yùn)動抖動怎么辦？

納米位移臺出現(xiàn)錯誤提示該如何處理？

如果位移臺運(yùn)行偏慢或卡頓應(yīng)如何處理？